志昇SZ-QMO无尘无氧充氮LED封装固化烘烤箱

一、应用范围

志昇无尘充氮烘烤箱适用于对洁净度和防氧化均有严苛要求的工艺场景，主要包括：半导体芯片封装、晶圆烘烤、LED封装固化、锂电极片干燥、精密电子元器件、PCB/FPC防氧化处理、航空航天精密零件、光学镜片镀膜前烘烤、3D打印金属脱脂、银浆固化、高分子材料固化等。特别适合易氧化、易吸潮、要求无尘无氧环境的烘烤与老化测试。

二、应用特点

百级洁净环境：内置初效+中效+高效（HEPA/ULPA）三级过滤系统，箱内洁净度达Class 100（ISO 5级），有效拦截0.3μm以上颗粒物，避免粉尘污染产品。

低氧无氧化烘烤：配置氮气注入系统与智能氧含量监测模块，可在30分钟内将箱内氧含量降至50ppm以下（低可至1ppm），配合氮气流量调节阀，实现稳定微正压，从源头杜绝产品氧化变色。

高精度温控：采用PID+SSR无触点控制，控温精度±0.1℃，温度均匀度≤±1.0%，满足精密工艺窗口要求。

洁净结构设计：内胆采用304镜面不锈钢满焊圆角工艺，无螺丝无死角，易于清洁，不藏尘；风道循环经优化设计，既保证温度均匀又避免微粒扬尘。

安全保护完善：超温报警、风机过载保护、氮气压力不足报警、门锁联动断电等多重保护，运行可靠。

三、技术参数（参考型号 ZS-CD-1500）项目参数

内胆尺寸(W×D×H)	700×600×600mm
温度范围	RT+20～200℃（可选300℃）
温度波动度	±0.3℃
温度均匀度	±1.0%（空载）
洁净度	Class 100 (ISO 5级)
氧含量控制	≤50ppm（标配）
氮气接口	Φ12mm快插接头
加热功率	5.5kW
电源	380V/50Hz 三相

四、使用事项

使用前准备：检查电源及氮气源压力（建议0.2~0.4MPa）。用无尘布蘸酒精清洁内胆，不可使用易掉毛的普通抹布。放入待烘物料，关闭箱门。

充氮操作：先开启氮气阀进行箱内置换，待氧含量降至设定值（如100ppm以下）后再启动加热；烘烤过程中保持氮气持续小流量进入，维持微正压。

运行中注意：严禁烘烤挥发性易燃易爆品。设定温度不得超过设备高允许值。烘烤过程中如需观察，应通过玻璃视窗查看，避免开门引入空气和粉尘。

停机与维护：烘烤结束后先停止加热，待箱内温度降至80℃以下再关闭氮气阀门，后切断电源。每周检查高效过滤器压差，压差超标时及时更换；每月检查加热管及风机运转无异常。

安全警示：设备工作时外壳高温，防止烫伤。氮气为窒息性气体，设备应置于通风良好的场所，排气管必须接至室外。