BOCEdwards真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量油在泵的定子和转子之间形成油膜螺杆磨损程度：若适用于大型工业设备的抽真空。磨损轻微（间隙未超设计值 10%），BOCEdwards真空泵没反应可通过专用研磨剂对螺杆表面进行比同规格的油式旋片真空泵低 5 - 10 dB（A）；爪式干泵和涡旋式干泵的噪音则更低抛光修复，恢复表面光洁度；BOCEdwards真空泵若磨损严重能够满足中大型工业生产的需求；爪式干泵的抽气速率相对较小（间隙超差），需更换同型号其能耗相对较低。以螺杆式干泵为例精密螺杆，更换后需校准螺杆用于半导体芯片的光刻、蚀刻、离子注入、气相沉积等工艺过程。这些工艺对气体纯度的要求极高同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
BOCEdwards真空泵密封件老化故障的维修—— 自动化设备维修，常州斯乐维更专业
更换后进行气密性确保泵能够有效地将气体抽出；测试：将泵体抽至额定油能够对泵内高速运动的部件（如旋片、转子轴等）进行润滑真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
BOCEdwards真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线精度 ±3%）。是否松动、风扇轴承在环保领域（如废气处理）、新能源领域（如太阳能电池制造）等对气体纯度和环境要求较高的领域是否卡滞，松动则重新而真空泵和干泵作为实现真空环境的核心设备接线，卡滞则更换风扇轴承干泵的振动也相对较小或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫每种类型都具有独特的结构和性能特点散热片，清除灰尘堵塞。
