Ashcroft雅斯科HPX超高纯压力表

Ashcroft雅斯科HPX超高纯压力表是专为半导体及电子制造行业的超高纯度气体与化学品输送系统设计的精密测量仪表，采用全不锈钢结构与接液元件，确保在严苛的超净工艺环境中不引入任何污染。该系列提供28mm微型、50mm及63mm三种表盘规格，其中28mm微型款采用304不锈钢外壳搭配电解抛光316L AOD/VAR不锈钢接液元件，超紧凑设计适配空间受限的高密度安装场景；50mm与63mm标准款则提供±1.5%满量程精度（50/63mm）及±3.0%满量程精度（28mm），压力量程覆盖真空至30 psi、2 bar至150 psi及10 bar等多种规格，可满足从低压监测到中高压控制的全场景需求。

HPX系列的核心制造工艺确保了超高纯等级的洁净标准：每台仪表均经过超声波清洗，接液部件表面进行电解抛光处理，油污残留物严格控制在50mg/m²以下，并在100级（Class 100）洁净室内完成组装与真空包装，采用双层包装袋交付。密封连接采用VCR®型螺纹接头，配合无氧密封焊接工艺，整机通过氦气泄漏测试，泄漏率满足超高纯系统的严苛要求。过程连接支持固定式或可旋转式配置，提供¼ NPT及VCR内/外螺纹多种接口选项，安装方向涵盖底部径向与背部轴向，亦可选配面板安装方式。HPX系列还提供带簧片开关的HPS超高纯压力表 variant，可在压力达到设定值时触发内部开关，为系统提供额外的安全报警功能。典型应用涵盖高纯度气体输送系统、气棒、流程气体分析仪、半导体制造设备及超纯水系统等对洁净度与测量可靠性要求极高的场合，是半导体与电子制造行业中值得信赖的超高纯压力测量解决方案。