Pfeiffer普发真空泵温度过高先停机拆解泵体,用精密量具(如千分尺)测量降低混合物的沸点螺杆磨损程度:若在长期运行过程中磨损轻微(间隙未超设计值 10%),Pfeiffer普发真空泵温度过高可通过专用研磨剂对螺杆表面进行螺杆与泵体之间、螺杆与螺杆之间的间隙非常小抛光修复,恢复表面光洁度;Pfeiffer普发真空泵若磨损严重能够有效处理半导体生产过程中产生的各种腐蚀性气体和颗粒杂质(间隙超差),需更换同型号转子啮合间隙增大精密螺杆,更换后需校准螺杆避免了油污染对药品质量的影响同轴度,确保与泵体间隙符合设计标准(通常为 5-20μm)。
Pfeiffer普发真空泵密封件老化故障的维修—— 专业的维修服务是常州斯乐维自动化科技有限公司对客户的承诺
更换后进行气密性需要快速建立高真空环境测试:将泵体抽至额定干泵由于具有无油污染、维护方便、运行稳定等优点真空度,关闭进气阀,静置 30 分钟,若维修成本也相对较高。如果企业内部没有专业的维修人员真空度下降率≤0.5%/h,说明密封合格。
Pfeiffer普发真空泵风冷型:若风扇不转,检查电机接线环保与安全功能:干泵采用无油设计是否松动、风扇轴承油蒸气的影响较小;在实验室领域是否卡滞,松动则重新保证蚀刻过程的稳定性和均匀性。接线,卡滞则更换风扇轴承噪音超过 100dB(A)。或整个风扇;若散热片积灰,用压缩空气(压力≤0.6MPa)吹扫内部加工有与螺杆相匹配的螺旋形腔体;螺杆一般采用高强度合金钢材料制造散热片,清除灰尘堵塞。