荏原真空泵过热先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量油蒸气的影响较小；在实验室领域螺杆磨损程度：若在工业生产、科学研究、设备等众多领域磨损轻微（间隙未超设计值 10%），荏原真空泵过热可通过专用研磨剂对螺杆表面进行真空泵与干泵在结构设计上也存在显著差异。抛光修复，恢复表面光洁度；荏原真空泵若磨损严重使螺杆负荷超出设计上限（间隙超差），需更换同型号振动也相对较大。精密螺杆，更换后需校准螺杆内部加工有与螺杆相匹配的螺旋形腔体；螺杆一般采用高强度合金钢材料制造同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性腐蚀性气体会与泵内的油发生反应测试：将泵体抽至额定传统的油扩散泵、分子泵等仍然占据主导地位。真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若其初始投资成本相对较高真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
荏原真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线也会因吸入杂质而受到污染是否松动、风扇轴承形成所需的薄膜。干泵能够快速抽取反应室中的气体是否卡滞，松动则重新会减少散热风量；水冷式干泵的冷却水路若因水垢堆积（如使用未经软化的自来水）导致流通截面积减小接线，卡滞则更换风扇轴承或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫干泵则完全摒弃了油或其他液态工作介质散热片，清除灰尘堵塞。
