GB/T23938-2009高纯二氧化碳检验

  高纯二氧化碳的分子式为CO2，分子量为44.009。常温常压下为无色、无臭气体，在高温时具有轻微刺激性气味 。气体密度为1.833 kg/m3 (21.1℃, 101.3kPa)，液体密度为762 kg/m3 (21.1℃) 。临界温度为31.1℃，临界压力为7382kPa，三相点为-56.6℃(416kPa) 。熔点为?78.5 °C（常压下升华），在527 kPa下熔点为-56.6°C；沸点/升华点为-78.5°C（升华，101.3 kPa下） 。易溶于水，20℃时在水中溶解度为0.90体积比 。在通常状态下性质稳定,分解为CO和氧气。储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房，库温不宜超过30℃，应与易(可)燃物分开存放 。健康危害包括低浓度对呼吸中枢有兴奋作用，高浓度则产生抑制甚至麻痹作用，并伴随缺氧；急性中毒症状有头晕、头痛、恶心等，极高浓度可迅速导致昏迷甚至死亡。本品不燃，但容器遇高热有爆炸危险；灭火时喷水冷却容器，并移至空旷处。高纯二氧化碳主要用于电子工业、医学研究及临床诊断、二氧化碳激光器、检测仪器的校正气及配制其他特种混合气 。在半导体行业中，高纯二氧化碳主要应用于清洗技术和沉浸式光刻技术等关键工艺。

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