高纯氪气检验

量产高纯氪气主流工艺为空气深冷精馏法。大型空分设备将空气低温液化，利用各组分沸点差异分离出富含氪、氙的液氧浓缩馏分，得到贫氪原料。

　　后续依次开展催化氧化脱除碳氢杂质、分子筛吸附脱水脱碳、多级低温精细精馏，彻底分离氪与氙组分，再通过精密过滤、脱氧装置去除微量氧、氮杂质，最终分馏灌装出不同纯度高纯氪气。少量低端氪可从合成氨尾气副产回收，但杂质超标，无法加工为 5N 及以上高纯产品；核工业裂变尾气可提取放射性氪同位素，单独回收用于无损检测，不用于常规工业高纯氪生产。

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