国标电子工业用气体氦成分分析

  电子工业用氦化学式He，专为半导体、微电子制程定制的超高纯惰性气体，化学性质极度稳定，高低温工况下均不参与化学反应，不会对晶圆、腔体材料造成侵蚀。采用低温精馏、深度吸附、催化脱氧、精密过滤多级提纯工艺，严格脱除氧气、氮气、水汽、尘埃粒子、总碳氢化合物等有害杂质，各项杂质控制在ppb量级，完全契合电子工业严苛洁净要求。常温常压下不可燃、不助燃、无毒无腐蚀性，安全可靠。电子工业专用氦气原子半径极小、导热性能优异、惰性极强，主要应用于半导体腔体吹扫、气氛保护、真空置换、设备检漏、晶圆制程冷却。超高纯净度可避免腔体污染，防止晶圆表面产生颗粒缺陷、线路短路；优异导热性能快速带走工艺热量，保证刻蚀、沉积工序温度恒定；极小的原子可穿透微米级缝隙，实现氦质谱高精度检漏，排查真空腔体细微泄漏。主要用于集成电路芯片制造、晶圆加工、面板显示、光伏电池片制备、高端电子真空设备、半导体特种焊接等电子制造领域。刻蚀与沉积工序中，电子级氦气作为吹扫气体置换腔体空气，降低氧含量与水汽含量，提升芯片良品率；真空设备利用电子级氦气检漏，保障制程腔体高真空环境稳定。

  氦气本身无毒阻燃，大量泄漏易在低洼密闭空间积聚，挤占空气造成缺氧窒息风险，气瓶必须直立固定，远离地下室、密闭车间，车间保持强制通风换气。若氧、露点、颗粒物、碳氢杂质超标，会造成晶圆表面缺陷、芯片漏电短路、真空腔体污染、设备故障率升高，直接降低芯片成品率，缩短昂贵半导体设备使用寿命。我司严格执行电子工业用氦气国家标准，针对气体纯度、氧含量、露点、尘埃粒子、总碳氢等关键指标开展高精度仪器检测，出具具备法律效力的正规检测报告，所有参数均满足集成电路、显示面板等电子行业工艺规范，可直接接入半导体生产线使用。

  深圳科洋检验有限公司是一家从事气体及其相关产品检测的第三方检验检测机构，持有 CMA 资质证书，支持上门取样、快递邮寄或直接送样等多种方式，欢迎咨询！