电子工业用氢气气体研究

  电子工业用氢气化学式H2，专为集成电路、微电子制造定制的电子级特种气体，还原性强，化学性质活泼。经过多级催化脱氧、深度干燥、纳米级过滤、吸附除杂全套精制工艺，严格脱除微量氧气、水汽、氮气、一氧化碳、二氧化碳、总碳氢化合物以及固体尘埃颗粒，所有杂质控制在ppb级别，洁净等级完全满足电子厂房无尘制程要求。常温常压下无毒、无腐蚀性，易燃易爆，扩散速度快，点火能量极低。电子工业专用氢气纯净度高、组分稳定，主要用作半导体制程还原气体、腔体吹扫气体、气氛置换气体、外延工艺载气。超高洁净的气体环境可有效清除反应腔体残留杂质，防止晶圆表面产生颗粒缺陷、线路漏电、短路等问题；无氧气氛能够保障薄膜沉积、金属化工艺均匀稳定，提升芯片电学性能与良品率。广泛应用于集成电路制造、晶圆加工、显示面板生产、光伏电池片制程、微电子元器件烧结、真空设备吹扫置换等电子制造领域。在硅片外延、金属镀膜工序中，电子级氢气营造高纯还原环境，避免晶圆氧化污染，保证芯片线路精度达标。

  氢气属于易燃易爆危险气体，极易因静电、明火引发燃烧爆炸，厂房内气瓶必须直立固定，单独分区存放，远离高温设备与电气火源，车间配备强制通风系统，所有输送管道、阀门均做防静电接地处理，严禁氢气在密闭腔体低洼处积聚。一旦氧含量、露点、颗粒物、碳氢杂质超标，会造成晶圆缺陷率上升、器件击穿失效、真空腔体污染，大幅降低芯片成品率，缩短半导体昂贵设备使用寿命。我司严格执行电子工业用氢气国家标准，针对气体纯度、微量氧、超低露点、尘埃粒子粒径与数量、总碳氢等核心指标进行高精度专业检测，出具具备法律效力的正规检测报告，各项参数均达到电子生产线准入标准，可直接接入半导体、显示面板等高精电子生产线使用。

  深圳科洋检验有限公司是一家从事气体及其相关产品检测的第三方检验检测机构，持有 CMA 资质证书，支持上门取样、快递邮寄或直接送样等多种方式，欢迎咨询！