供应薄膜测量厚度测量仪

薄膜测量



产品编号：

产品名称： 薄膜测量

规　　格： 薄膜测量

产品备注：

产品类别： 光谱测试仪器





产 品 说 明



薄膜测量

薄膜厚度

新泽西Salt Point公司开发的薄膜监测系统(TDS)，在宽带溶解率监测仪(DRM)中集成了一套海洋光学多通道光谱仪，用来分析半导体和光学工业中使用的超薄的抗蚀膜。

DRM帮助客户确定膜层的厚度以及应用抗蚀膜后的材料溶解速率这都是控制薄膜生产工艺的重要参数。在初始化测试中，薄膜监测解决方案主要针对膜厚