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- 山东安达化工科技有限公司
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- 2026-09-02 12:00:57
在集成电路制造的光刻与清洗工序中,环己烷(Cyclohexane,CAS 110-82-7)凭借其独特的溶解性能与挥发特性,成为光刻胶溶剂与清洗去油剂的重要成员。
山东安达化工科技生产的电子级环己烷,纯度≥99.9%,达到G4等级。这一纯度级别使其能够用于分立器件、中大规模集成电路的制造。对于超大规模集成电路(VLSI)制造,更高等级的环己烷产品可满足BV-Ⅲ级要求,为先进制程提供溶剂保障。
环己烷的分子结构决定了它对非极性有机物具有良好的溶解能力-。在光刻工艺中,它用作光刻胶的溶剂体系组分,帮助调控胶液的粘度与涂布性能。在清洗环节,环己烷能够有效去除晶圆表面的油脂、有机残留及颗粒物,且挥发后不留痕迹-。
电子级环己烷市场正在随着全球半导体产能的扩张而稳步增长-。山东安达通过精馏与吸附纯化组合工艺,将产品中的水分、金属离子及颗粒物控制在严格范围之内-。每一批次产品均经过纯度(GC)检测,确保≥99.95%的指标稳定达标-。从晶圆清洗到蚀刻工序,电子级环己烷正在为中国半导体产业链提供可靠的国产溶剂选择-。