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- 昆山友硕新材料有限公司
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- 发布时间
- 2026-09-03 07:55:05
安徽作为长三角集成电路产业协同发展的关键支点，合肥已形成涵盖设计、制造、封测、材料与装备的完整链条，长鑫存储、晶合集成等头部企业带动本地对高精度三维形貌表征需求持续攀升。在此背景下，卡尔蔡司工业CT与高分辨率3D光学扫描系统不再仅是质量抽检工具，而是贯穿2.5D/3D封装工艺链的核心验证节点。TSV硅通孔的共面度偏差、微凸点（Microbump）高度一致性、RDL重布线层翘曲变形——这些参数直接决定芯片堆叠良率，而传统接触式测量或二维图像分析无法提供全表面无盲区的亚微米级三维数据。蔡司的Contura G2 RDS或METROTOM系列设备，凭借相位偏移条纹投影与高动态范围X射线重建能力，可在不破坏样品前提下获取内部结构与外部轮廓的同步三维模型。这种“一次扫描、多维验证”的能力，使封装厂得以将失效分析周期从数天压缩至数小时。
昆山友硕：不止于代理，更构建本地化技术纵深昆山友硕新材料有限公司自2005年扎根长三角以来，始终将设备代理与本土工程能力深度耦合。公司并非简单转售蔡司硬件，而是围绕3D扫描仪部署了三类支撑体系：其一为应用层适配，针对安徽客户常见的Fan-Out、Chiplet异构集成场景，开发专用扫描路径模板与自动缺陷标注规则库；其二为数据层打通，其自主研发的AI驱动缺陷分类系统可直接接入蔡司Calypso软件输出的点云与体素数据，实现焊球空洞率、界面分层面积、BGA底部间隙等关键指标的自动量化判定；其三为服务层响应，在合肥设有常驻应用工程师，支持现场扫描参数调试、GD&T公差带比对报告生成及与MES系统的测量数据接口对接。这种将德国精密仪器与本土封装工艺知识融合的能力，使友硕成为安徽多家封测厂产线升级时优先考量的技术伙伴。
从扫描到闭环：3D数据如何驱动工艺迭代一台高精度3D扫描仪的价值，最终体现在它能否推动工艺参数持续优化。友硕在服务安徽某功率模块封测客户过程中发现，传统AOI检测仅能识别表面焊点缺失，却无法解释为何同一炉次中部分器件出现热循环后开裂。通过蔡司METROTOM 1500对失效样品进行断层扫描，团队定位到基板与DBC陶瓷覆铜层间存在微米级未填充间隙，该间隙在热应力下演变为裂纹源。这一发现促使客户调整烧结温度曲线与压力保持时间，并由友硕协助导入其封装专用除气泡烤箱——该设备采用梯度升温+真空脉冲排气机制，专为解决SiC模块银烧结工艺中的气体滞留问题。3D扫描不再止步于“发现问题”，而是串联起失效机理分析、工艺参数修正、设备选型验证的完整闭环。这种以数据为轴心的工艺治理模式，正逐步替代依赖经验试错的传统做法。
面向第三代半导体的定制化扫描方案SiC与GaN器件对封装可靠性提出全新挑战：更高工作温度、更强电流密度、更严苛的热机械匹配要求。常规扫描方案在应对碳化硅基板高X射线吸收率、氮化镓器件微小焊点（
蔡司三维扫描仪T-SCAN LV| 模块化，个性化的系统配置 | 测量范围大，测量度高 |
| T-SCAN LV 手持式扫描系统，采用模块化系统配置，与新跟踪仪结合使用，为用户提供个性化的应用解决方案。 T-SCAN LV 手持式激光扫描头，手持更轻便， 可高率应用于大尺寸工件的无疲劳测量。还有 T-POINT LV 测量光笔可供选择，用于进行高速，简便的单点测量。 | T-SCAN LV /T-TRACK LV 手持式扫描系统与跟踪系统结合，提供超凡的测量范围，为用户提供三维数字化测量新体验。 采用该手持式扫描系统进行大数据工件测量，操作更简便，扫描速度更快。高达35 m³ 的跟踪测量范围，使三维测量工作更高，更灵活。 |
| 动态跟踪功能 | 多相机跟踪 |
| 使用T-SCAN LV系统的动态跟踪功能，可对动态工件进行高度测量。该功能为用户在振动（如冲压车间）等苛刻的测量环境内进行测量提供大便利。 | 跟踪仪采用多相机跟踪方式，为大工件提供多角度，多方位的数据获取可能，从而大大提高测量率。 |
| 应用域 | 突出点 |
T-SCAN LV / T-TRACK LV 手持式扫描系统可应用于各种尺寸的工件测量上。超大的测量范围，尤其适用于大尺寸工件的高速测量。（如整车，生产线，农用设备，以及金属制造/焊接工艺等），凭借大测量范围的突出点，该系统还适用于以下多种不同域的高测量应用： • 质量控制/检测 | • T-SCAN LV / T-TRACK LV创新的扫描头+跟踪仪+光笔一揽式手持式扫描系统具有以下突出点 • 超大的测量范围 • 测量度高 • 数据获取速度高 • 现场校准功能 • 动态跟踪测量功能 |
| T-TRACK LV 跟踪仪 技术数据 | |
| 跟踪仪与被测工件工作距离 | 1,5米 - 7,5米 |
| 跟踪范围 | 35立方米 |
| 测量场 | 高 3700 mm x 2600 mm |
| 跟踪频率 | 高 4,5 kHz |
| 跟踪仪重量 | 24 kg |
| 跟踪仪尺寸 | 1157 x 230 x 175 mm |
| 适配电脑 | 笔记本 |
| LED 标记光源 | 高达63个LED光源，可监测 |
| 适配软件 | T-SCANplus |
| 适配设备 | • T-SCAN LV 手持式扫描头 • 动态参考点 • T-MOTION CONTROL LV • T-POINT LV 接触式光笔 |
| T-SCAN LV 手持式扫描头 技术参数 | |
| 测量景深 | + / - 50 mm |
| 线宽 | 高达 125 mm |
| 平均工作距离 | 150 mm |
| 扫描线频 | 高达 160 Hz |
| 数据获取率 | 高达 210.000点/每秒 |
| 扫描头重量 | 1100 g |
| 扫描头尺寸 (含把手与IR接口) | 300 x 170 x 150 mm |
| 扫描头-笔记本标准线长 | 10米 |
| 平均点距 | 0,075 mm |
| 扫描线点数 | 1312点 |
| 激光类型 | 激光二管 |
| 波长 | 658 nm |
| 激光安全级别 | 2 M |
| 扫描软件 | T-SCANplus |