电子级乙二醇生产厂家 山西电子级乙二醇厂家 国标99.9% 诚信供应商

高纯乙二醇——半导体CMP浆料和冷却液中的“稳定基石”

在半导体制造中，乙二醇并不直接参与光刻或刻蚀反应，但它在CMP浆料的配制、晶圆切割冷却液和空调系统载冷剂中发挥着的稳定作用。山东安达化工电子级乙二醇的纯度≥99.9%，水分≤0.05%，酸度（以乙酸计）≤0.005%，氯离子≤1ppm，铁离子≤0.5ppm。

CMP浆料中微量的金属离子和氯离子可能在抛光过程中吸附于晶圆表面，导致器件电性能退化。山东安达化工采用离子交换树脂吸附法将总金属离子控制在5ppm以内，氯离子通过阴离子交换柱脱除至1ppm以下。产品经0.2μm滤芯过滤后灌装，在洁净灌装区内完成，确保颗粒物指标满足CMP浆料配制要求。

在12英寸硅片线切割冷却液中，乙二醇与水按一定比例复配后，其良好的导热性能和较低的冰点可以有效控制切割区域的温升。山东安达化工可根据客户冷却液配方需求提供乙二醇含量≥99.95%的超纯规格。