电子特气检测 4N、5N、6N（99.99%、99.999%、99.9999%）

电子特气检测

电子特气（电子特种气体）是芯片、面板、光伏制造的核心原辅材料，检测核心是痕量杂质、纯度、颗粒物、金属离子、腐蚀性 / 酸度，等级一般分 4N、5N、6N（99.99%、99.999%、99.9999%），杂质控制到 ppb 甚至 ppt 级别。

✅ 常见电子特气品类

大宗电子气：高纯 N₂、高纯 O₂、高纯 Ar、高纯 H₂、高纯 He

刻蚀气体：NF₃、CF₄、C₄F₈、SF₆、Cl₂、BCl₃、HBr

掺杂气体：AsH₃、PH₃、B₂H₆

沉积 / 源气体：SiH₄、NH₃、TEOS、TMA（三甲基铝）

其他：WF₆、NO、N₂O、CO

✅ 核心检测项目

主成分纯度：气相色谱 DID/PDHID 检测器，主体含量定量

常规痕量杂质：O₂+Ar、N₂、CO、CO₂、CH₄、总烃（ppb 级）

水分 H₂O：光腔衰荡 CRDS、电解法，半导体特气常要求 < 100ppb

金属杂质：Na、Fe、Cu、Cr、Ni 等，ICP-MS，ppt 级别（晶圆致命污染）

颗粒物：0.1μm/0.05μm 粒子计数（气瓶出口颗粒）

酸度 / 碱度：GB/T 46384.1 傅里叶红外 FTIR，HF、HCl 等腐蚀性副产物

油份、残渣、不挥发残渣

气瓶安全检测：氦检漏、保压、耐压（压力容器）

✅ 常用检测方法与仪器

GC-DID（脉冲放电氦离子色谱）：主流，性气体痕量杂质，ppb 检出限

GC-MS：有机杂质、未知物定性

FTIR：腐蚀性气体、酸度测定

CRDS：痕量水

ICP-MS：气体中痕量金属

粒子计数器：气体颗粒

✅ 现行国标（部分）

GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷

GB/T 40417-2021 电子特气 六氟丁二烯

GB/T 17874-2021 电子特气 三氯化硼

GB/T 46384.1-2025 电子气体中酸度的测定 第 1 部分：傅里叶变换红外光谱法

✅ 报告资质要求

CMA：国内商用、出货验收、招投标必备（法定资质）

CNAS：实验室认可，海外客户、半导体大厂采信，国际互认

重点：资质附表必须包含对应电子特气 + 检测项目，很多机构只有普通工业气体资质，不能做 6N 电子特气 ppb 级杂质。

✅ 业务场景

特气工厂：出厂全项检测、批次质控

半导体 / 面板厂：进厂验收（特气来料检验）

气瓶翻新 / 充装：气瓶氦检、残气分析

研发：新品提纯工艺验证，未知杂质定性

事故 / 失效分析：晶圆不良溯源，特气污染排查

✅ 采样关键点（极易踩坑）

电子特气采样对管路要求极高：EP 级钝化不锈钢、VCR 接头，充分吹扫置换，避免管路吸附、空气渗入造成结果虚高；腐蚀性 / 自燃 / 剧毒气体（硅烷、）需要专用取样钢瓶与安全操作。

✅ 可提供服务（你这边业务可直接对外）

来料特气检测（单项 / 全项）

气瓶氦检漏、保压测试

方法开发、工艺验证测试

CMA/CNAS 报告出具

失效分析、杂质溯源

合肥宇硕检测，专业检测机构，可提供专业可靠的检测技术服务，的垂询！