越昌3R-NG系列 无动力气浮转台

在精密角度检测、光学元件标定、晶圆旋转形貌测量等场景，传统机械转台存在摩擦间隙、回转误差、长期磨损产生粉尘等问题，难以满足纳米级回转精度需求。厦门越昌科技3R-NG 系列无动力气浮转台，依托静压气浮支撑原理，打造无驱动、无摩擦的高精度回转单元，适配各类超精密检测设备。

3R-NG 无动力气浮转台，采用气膜无摩擦支撑技术。通入洁净稳压压缩空气后，在转子与定子之间形成均匀微米级气膜，将旋转台面完全悬浮，固体部件无直接接触，几乎消除机械摩擦。区别于电机驱动转台，该系列为无动力结构，依靠外部微小外力即可实现台面平稳转动，低速回转无爬行、无抖动。气膜自带误差平均效应，有效抑制导轨基材微小缺陷带来的回转误差，轴向、径向跳动控制优异。运行过程无金属磨屑、无需润滑油脂，可满足洁净车间使用要求。

转台主体选用高稳定性花岗岩或合金精密加工，结构刚性强，热变形低。搭配高精度角度光栅可选配，可实时采集旋转角度位置，适合静态角度标定、多角度面型扫描、光学镜头检测、样品多角度形貌观测。常与 XYZ 气浮直线平台组合，搭建多自由度精密检测系统，适配线光谱 3D 检测仪、白光干涉测量设备。

广泛应用于多个精密领域：半导体行业用于晶圆多角度形貌检测、掩膜版角度标定；光学领域用于光学镜片、反射镜的面型多角度测量；科研计量领域用于传感器标定、精密角度基准实验；也可用于 3C 精密零件、新能源薄膜多角度缺陷检测。对于外界振动敏感的工况，可配套主动减震系统，进一步保障测量稳定性。

厦门越昌科技作为，可根据客户负载、台面尺寸、回转精度需求定制 3R-NG 系列无动力气浮转台。从气浮节流设计、精密装配到整机校准，全流程自主把控。技术团队可提前介入方案评估，协助完成多轴系统匹配，规避集成误差。提供样机调试、技术对接与售后维保一站式服务，摆脱进口气浮转台交付周期长、维护昂贵的困境。

国产超精密检测装备快速发展，高精度回转单元是多角度检测的核心。如果您需要无摩擦、高洁净的无动力气浮转台，欢迎咨询厦门越昌科技，获取 3R-NG 系列详细参数与方案评估。