XY共面气浮位移台，重新定义二维运动基准

 产品定位

同一平面，同一精度：重新定义二维纳米运动基准

XY共面气浮位移台是面向精密检测与超精密制造领域的高端运动平台，其核心设计理念是从结构层面消除传统叠层式XY平台的固有误差源。

核心技术：共面架构如何解决“叠层误差”

传统XY平台采用上下叠层结构——Y轴直接架设在X轴台面上，两层台面存在高度差。这个高度差带来的问题是系统性的：

阿贝误差被放大。 当运动部件在上下有落差的两层之间运动时，俯仰、偏摆误差随行程线性放大。对于需要大面积扫描的检测场景，行程越大，误差越不可控。

正交性难以保证。 两层独立装配，X轴与Y轴的正交度受装配精度和热漂移双重制约。Aerotech的XY纳米定位平台基础版正交性为10 arc sec，经过精细校准的ULTRA版才能达到1 arc sec。

XY共面气浮位移台的解决思路是：X轴和Y轴运动处于同一平面。反馈传感器位于同一水平面，高度差归零，阿贝误差从根源上被消除，直线度与平面度指标显著提升。

 气浮支撑：无摩擦的物理基础

平台采用压缩空气在导轨与滑块之间形成微米级均匀气膜，实现非接触悬浮运动。

无爬行。 机械导轨在低速时因静摩擦与动摩擦的切换会产生“爬行”，这是精密扫描面临的主要挑战。气浮支撑从物理上消除了摩擦，低速扫描可保持匀速平稳。

无磨损。无接触意味着无磨屑、无磨损，设备长期运行后精度不衰减，使用寿命显著延长。

洁净兼容。 无润滑油运行设计，天然适配洁净室环境。

驱动与反馈：纳米级精度的工程实现

平台搭载直线电机直驱，摒弃丝杠、联轴器等中间传动环节，从根源消除机械间隙与反向间隙。配合高分辨率光栅尺全闭环反馈，实现稳定的纳米级重复定位精度。

具体指标方面，越昌科技XY共面精密气浮平台的数据为：重复定位精度可达±0.3μm，小步长10nm级。这一精度水平足以满足12英寸晶圆缺陷扫描、大口径光学面型检测等场景对运动基准的苛刻要求。

适配场景

半导体检测。晶圆表面缺陷扫描、掩膜版检测、关键尺寸测量。共面结构确保大面积扫描时上下两组光学系统的空间坐标严格对应。

光电显示与面板检测。 大尺寸玻璃基板、OLED面板Mura缺陷AOI检测。长行程扫描中直线度与平面度的一致性直接决定成像质量。

光学面型测量。大口径非球面镜、干涉仪扫描平台。共面度误差可控制在亚微米级，保障全视场测量一致性。

精密PCB与FPC检测。HDI板AOI设备中，高速平稳运动避免图像抖动，微小线路检测分辨率可达5μm。

可选配置

- 主动减震系统，适配现场振动较大的工况

- 定制行程（100mm-1000mm）与负载配置

- 配套大理石基座或花岗岩基座