电化学ECV测试仪（电化学电容电压）

电化学ECV（电化学电容电压）是一种通过测量半导体材料电容-电压特性来分析其掺杂浓度分布的检测技术。这项技术通过施加扫描电压并测量界面电容变化，能够非破坏性地获取半导体外延层或离子注入层的载流子浓度分布信息。

其核心原理基于金属-半导体接触形成的肖特基势垒。当施加反向偏压时，耗尽层宽度会随电压变化，而耗尽层电容与载流子浓度存在定量关系。通过高频C-V测量和微分处理，可以推导出载流子浓度随深度的分布曲线。这种方法的独特优势在于能获得表面浓度和纵向分布数据，且分辨率可达纳米级。