小流量气体质量流量传感器FSG4000系列

一、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列主要特性：

1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量

2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量

3）在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高

4）传感器的零点稳定度高

5）全量程高稳定性

6）全量程高精确度和优良的重复性

7）低功耗

8）低压损

9）响应时间快

二、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列典型应用：

适用于小流量气体质量的流量测量。