微区表面形貌分析

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2013-06-27 13:33:00
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检测行业中观察样品形貌一般用光学显微镜和电子显微镜(SEM),其中光学显微镜的优势在于操作简单、能直观看到待测位置的形貌、颜色等。在宏观形貌观察领域,光学显微镜(SEM)有着不可替代的优势,但在微观形貌观察时,光学显微镜则由于景深小而造成很多局限。比如样品观察面需要非常平整,否则观察不到或者拍摄出的图片质量差,此时样品需要制样磨平,但这样就破坏了样品原本的表面形貌。这种时候就需要电子显微镜(SEM)来弥补这一缺陷。

  和传统光学显微镜相比,扫描电镜(SEM)具有以下特点:

  1、能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

  2、样品制备过程简单,不用切成薄片。

  3、样品可以在样品室中作三维空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。

  4、景深大,图象富有立体感。扫描电镜(SEM)的景深较光学显微镜大几百倍。

  5、图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,图像分辨率可达3nm。

  6、电子束对样品的损伤与污染程度较小。

  7、在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。

  扫描电子显微镜(SEM)是观察微观形貌的最有力工具,目前已广泛应用于材料、生物、环境等领域。

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