HGPT-D型大理石自动平衡精密光学隔振平台

特 点： ·衡工大理石光学隔振平台隔振基础同样采用二层气囊隔离、减振液和高阻尼小孔隔振性能良好

·稳定轻松调节，稳定可靠结构十分紧凑

·自动水平，自动充气，全部气动执行元件，采用原装德国FESTO产品

·静音空气机气源，噪声低（小于65分贝）

·适用于振动频率要求高的实验环境

主要参数：·平面精度为双零级

·表面粗糙度小于0.08um

·固有频率垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

·振幅不大于1.2um

·重复定位精度±0.05mm