六氟乙烷

级别 3.0N 5.0 N

纯度 99.9% 99.999%

氮 - ≤ 8 ppmv

氧 - ≤ 2 ppmv

水分 ≤ 10 ppmw ≤ 3 ppmv

甲烷 - ≤ 3 ppmv

一氧化碳 - ≤ 1 ppmv

二氧化碳 - ≤ 1 ppmv

酸度（以HCl计） ≤ 1 ppmw ≤ 0.1 ppmw