工作原理：
在一定温度下，碳与氮气中的残氧反应生成二氧化碳，采用变压吸附工艺，除去二氧化碳和水，再经高精度过滤后，得到高纯氮气。
提纯后的氮气纯度可大于99.999%，二氧化碳含量小于等于4ppm，氧气含量小于等于3ppm.。
技术特点：
1、稳定性好，氧含量严格控制在5ppm以下
2、纯度高，氮气纯度≥99.9995%
3、含水量低，氮气露点≤-40～-73℃
4、适用于对氢、氧有严格要求的工艺
技术指标：
成品氮气产量：10Nm3/h~5000Nm3/h
原料氮气纯度：≥99.9%
成品氮气纯度：≥99.9995%
氧含量：≤5PPm
露点：≤-60℃
含尘量：≤0.01um