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三次元测量仪的垂直度用两个垂直于基准平面的平面，夹被测平面的所有点，其最小距离就是垂直度，这种直接测面与面的垂直度的方法不能直接从结果中看出被测面的情况，有以下两种方法：
影像测量仪用基准平面建立坐标系的坐标平面，在被测平面上测一条线和点，建立一个辅助坐标系。然后在被测平面上测点，根据点的坐标值可以看出面与基准面指定方向上的形状与变形情况。
三次元用测量线的方法，因测量面的垂直度是一个空间的关系，在遇到窄平面的情况时测量不准确，而且重复性不好，在两个平面上各测几条线，分别投影到与这两个平面垂直的平面上，分别计算垂直度或夹角，可以看出平面是否扭曲，取其中垂直度数值最大的值为平面的垂直度误差。
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