AALBORG气体质量流量计

产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器

典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。

设计特点：

－刚性金属结构

－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm

－最大压力500psig（34.5Bar）

－泄漏率1＊10-7氦气

－NIST系统标定可追踪的证明

－可倾斜的LCD读表