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三次元测量仪测量按误差的几何量分类有形状误差、实际要素的位置误差和被测工件的尺寸误差。它们各自有不同的特点，产生的原因和影响也不相同，而误差补偿和消除也就不同，尺寸误差可通过调整刀具与工件的距离来补偿；在椭圆曲线的加工中形状误差可以通过靠模或软件来补偿修正。
二次元的位置误差则需通过调整零件的安装位置和方法来补偿，误差补偿关键在于要把测量中众多的综合误差按类分离出来。在圆度误差的测量过程中，存在被测件的圆度误差，同时也存在转台式圆度测量仪的回转误差。
分离技术是将被测件和测试仪器误差分离开，从而获得精确的测量结果。分离技术的电算法是现代化仪器一般都配有计算机，可采用相应的软件将测量仪器的系统误差分离出来;实用分离技术是指在实际操作过程中通过某种手段消除仪器的系统误差。
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