半导体激光划片机

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武汉帝尔激光科技有限公司
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发布时间
2009-02-07 09:18:00
产品详情
设备性能

该类机型采用半导体泵浦激光器,一体化程度更高、光束质量更好、运行成本更低、免维护时间更长;

关键部件均采用进口产品,整机结构简单、划片速度快、精度更高,能24小时长期连续工作。

应用领域

太阳能行业单晶硅、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片(cell)和硅片(wafer)的划片(切割切片);

电子行业单晶硅和多晶硅硅片(wafer)的分离切割。

主要技术参数

激光波长 1.064μm

划片精度 ≤±10μm

最大划片厚度 1.2mm

划片线宽 ≤30μm

激光重复频率 200Hz~50kHz

最大划片速度 200mm/s

激光最大功率 ≥20W

工作台幅面 350×350mm

使用电源 380V(220V)/ 50Hz/ 5kVA

冷却方式 恒温循环水冷

工作台 双气仓负压吸附,T型台双工位交替工作

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