等离子清洗机

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苏州和谐电子技术有限公司
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发布时间
2010-02-02 10:07:00
产品详情
德国Diener electronic成立于1993年,是世界低温等离子工业的领导者,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。



用途



Diener等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。

Diener等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于高科技生产单位的以下场合:



半导体开发



集成电路开发



真空电子行业



生命科学实验



 等等



 

Diener等离子清洗/刻蚀机具有以下特点:



 可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。



 不会对操作人员的身体造成任何伤害。



 其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。







Diener等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。







等离子清洗机技术原理



等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体越来越稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长,受磁场作用,发生碰撞而形成等离子体,同时会发生辉光。等离子体在电磁场内空间运动,并轰击被处理物体表面,从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。



一、等离子清洗机工作原理













二、气体等离子化原理

















等离子清洗机应用







一、金属表面去油及清洗



金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果:







1灰化表面有机层



-表面会受到物理轰击和化学处理





因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度,所以污染层不能太厚。指纹也适用。







2氧化物去除



金属氧化物会与处理气体发生化学反应



这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合气体。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面,第二步用氢气和氩气的混合气体去除氧

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