OSAKA大阪分子泵TG2000MVA 大阪分子泵维修

OSAKA大阪分子泵TG2000MVA  大阪分子泵维修

Osaka涡轮分子泵使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～ 2400L/s的产品。

特点

无油的超高真空环境

机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

可排稀有气体和腐蚀性气体

可连续排大流量气体

可工作的压力范围宽。

应用

半导体制造

电子枪排气，离子源排气

FPD制造

表面处理，表面改质

各种电子部件的制造

分析，试验装置

管球制造，光学部件制造

加速器，放射线设施，核聚变研究

热处理

研究开发