INFICON冷阴极皮拉尼复合真空规
型号：MPG400和MPG401,
INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
优点：
复合真空规—冷阴极与皮拉尼
宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
卓越的引燃功能
易清洗
FPM或金属密封的馈入件
高压加上时LED指示灯亮
对数模拟输出讯号
应用：
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的压强测量
一般真空测量和控制，从中至高真空范围
技术参数：
测量范围 （空气, N2） 毫巴（乇） 5 x 10-9… 1000 （3.8 x 10-9… 760）
精度 （N2） 1 x 10-8 … 100毫巴 % 读值 ≈±30%
重复性1 x 10-8 … 100毫巴 % 读值 ≈±5%
安装方向 任何
允许压强 巴（绝对） ≤10 （限于惰性气体）
允许温度
工作 （室温）
贮存
烘烤 1）
灯丝温度 （皮拉尼）
°C
°C
°C
°C
+5 … +55
–40 … +65
150
120
电源电压
在规管上 V DC +15 … +30
在供电单元上, 最大电缆长度 2） V DC +16 … +30
纹波 Vpp ≤1
功耗 W ≤2
连接保险丝 AT ≤1
输出讯号（测量讯号）
电压范围 V 0 … +10.5
测量范围 V +1.82 … +8.6
电压与压强的关系 对数, 0.6 V/量级
误差讯号 V 9.5 （皮拉尼传感器, 灯丝断裂）
输出阻抗 ? 2 x 10
最小负载阻抗 k? 10, 短路保护
响应时间 p > 10-6 毫巴 毫秒