多晶硅片清洗机

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2010-03-09 14:30:00
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多晶硅片清洗机

硅片清洗加工设备,可广泛用于IC生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB。该设备适用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀,德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工;该设备可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、 塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。 可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。 ◇全自动硅片清洗机 ◇手动硅片清洗机有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询

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