激光由发射端发出，通过测量部分中的工艺气体，到达接收端的检测器上。原位氧气分析仪测量将在短时间内在线进行，在过程控制中有效地节约成本。
激光的本质特性决定了单一的光谱可以不受干扰。由于激光的带宽特别窄，只有吸收光谱与之相吻合的气体组分才能够有（吸收）反应。由于激光技术所固有的优秀补偿能力，所以来自其它方面的干扰，例如灰尘和温度，就可很容易地被去除。
原位氧气分析仪在线的内置参比池充满了无干扰参比气体，是已存在的西门子TDL（可调谐二极管激光）技术优势的进一步发展，无需人为自标定而且维修要求低，为客户提供了一个理想的解决方案。
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