Edwards EXT75DX复合涡轮分子泵
性能特点
兼容TIC涡轮仪表控制器。
多种通讯模式。
并口，用于传统控制信号接口。
串口，用于RS-232接口。
通过RS-232接口，用户可以设置各种参数RS-232。
放气阀控制设置。
正常泵速显示。
准备转速显示。
可编程功耗调整。
泵温。
增强型泵速、功耗、温度监测。
技术数据
入口法兰 DN63ISO-K
压缩比
N2 >1 x 10E11
He 1 x 10E6
H2 5 x 10E4
出口法兰 DN16NW
级间口（Hi型） DN25NW
前级泵（推荐） E2M0.7
放气口 1/8 inch BSP
吹扫净化口 1/8 inch BSP
最高入口压力（抽轻气体） *
水冷（水温15°C，大气温度40°C） 2 x 10E-2 mbar
空冷（大气温度35°C） 1 x 10E-2 mbar
额定转速 90000 rpm
工作转速 49500～90000 rpm （缺省 63000 rpm）
转速达到90%所需时间 ** 110 s
冷却方式 空冷/水冷
大气温度（空冷） 5-35 °C
冷却水最低流速（水温15 °C） 15 l/h
水温范围 10-20 °C
入口法兰最高温度 100 °C
工作姿态 垂直
噪音（1m处）