RHEED Unit——RHEED-1000特点简介：
可很容易更改为差分泵送类型，以支持超高真空
采用最大30KV紧凑型设计，可适合安装在小腔室中。安装法兰采用Φ34 ICF
无需使用远程控制器，即可从PC进行控制
高达30 kV紧凑型高压电源
通过单差分泵送高达1Pa
电子束平行扫描在同等条件下的多重衍射监视仪（可选）