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三轴加速度传感器原理

目前的加速度传感器有多种实现方式，主要可分为压电式、电容式及热感应式三种，这三种技术各有其优缺点。以电容式3轴加速度计的技术原理为例。电容式加速度计能够感测不同方向的加速度或振动等运动状况。其主要为利用硅的机械性质设计出的可移动机构：由于加速度使得机械悬臂与两个电极之间的距离发生变化，从而改变了两个电容的参数。通过集成的开关电容放大电路量测电容参数的变化，形成了与加速度成正比的电压输出。因此3轴加速度传感器必然包含一个单纯的机械性MEMS传感器和一枚ASIC接口芯片两部分，前者内部有成群移动的电子，主要测量XY及Z轴的区域，后者则将电容值的变化转换为电压输出。

使用加速度传感器有时会碰到低频场合测量时输出信号出现失真的情况，用多种测量判断方法一时找不出故障出现的原因，经过分析总结，导致测量结果失真的因素主要是：系统低频响应差，系统低频信噪比差，外界环境对测量信号的影响。所以，只要出现加速度传感器低频测量信号失真情况，有针对性的进行解决。

影响一体化涡流传感器稳漂的几个因素：

1.电涡流传感器在使用过程中均会有漂移现象，此现象是不可能避免的。

2.漂移产生的根本原因在于所有的电涡流传感器均基于一种材料的弹性形变，不论其材质弹性如何良好，每次弹性回复后，总会产生一定弹性疲劳。

3.在一体化涡流传感器使用过程中，由于弹性材料引起的漂移根据材质不同各不相同，但是只要是合格的产品，都在很小的范围。

4.除了材料引起的漂移外，还存在一种更显著的漂移，即温度漂移。温度漂移是因为温度的变化而?使用数字补偿技术，采用数字补偿。

5.除了以上因素的漂移，电涡流变送器漂移的因素还取决于电路的设计及元器件的质量。

一体化涡流传感器广泛用于电力、石化、冶金、机械等行业，对大型旋转机械的轴位移、轴振动、轴转速等参数进行在线实时监测，可以分析出设备的工作状况和故障原因，有效地对设备进行保护及进行预测性维修。可测量位移、振幅、转速、尺寸、厚度、表面不平度等。

加速度是描述物体速度变化快慢的物理量，三轴加速度传感器，通过测量由于重力引起的加速度，你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。通过分析动态加速度，加速度传感器，你可以分析出设备移动的方式。为了测量并计算这些物理量，便产生了加速度传感器。加速度传感器，微型加速度传感器，包括由硅膜片、上盖、下盖，3轴加速度传感器，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；工业现场测振传感器，主要是压电式加速度传感器。加速度传感器具有强力的故障检测功能，具体包括数字启动时的自我诊断，校正存储器的奇偶校验，总和校验以及一般情况的故障检测功能。该产品可用于水平或垂直检测，零点的温度相关系数在1mg/℃以下。传感器元件采用的是过阻尼 (通过加入惰性气体降低高频噪声) 结构。

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