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- 苏州微麦光电有限公司
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- 发布时间
- 2019-02-21 16:25:49
半导体光掩模市场集中度高, 寡头垄断严重,玻璃板, Photronics、大日本印刷株式会社 DNP 和日本凸版印刷株式会社 Toppan 三家占据 80%以上的市场份额。我国的光掩膜版行业仅能够满足国内中低档产品市场的需求,高i档光掩膜版则由国外公司直接提供。目前,国内的光掩膜版企业主要集中在上海、北京、深圳及江浙地方,它们的市场侧重点各不相同。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,张家港玻璃板,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
菲林在使用中需注意的事项
激光照排菲林中含有防光晕层,在定影、水洗的过程中有一些会脱落,在片基上形成淡蓝色的水斑,可在定影液中加入适量的坚膜剂消除。水洗槽要经常保持清洁,每天在工作结束后要将水槽中的水放掉,用干净的纱布擦干。每次加水之前要先将水放掉一些以除掉水锈,每周至少要坚持清洗水辊一次。
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通过金属化过程,在硅衬底上布置一层仅数纳米厚的金属层。然后在这层金属上覆上一层光刻胶。这层光阻剂在曝光(一般是紫外线)后可以被特定溶液(显影液)溶解。使特定的光波穿过光掩膜照射在光刻胶上,可以对光刻胶进行选择性照射(曝光)。然后使用前面提到的显影液,溶解掉被照射的区域,玻璃板,这样,光掩模上的图形就呈现在光刻胶上。通常还将通过烘干措施,改善剩余部分光刻胶的一些性质。上述步骤完成后,就可以对衬底进行选择性的刻蚀或离子注入过程,未被溶解的光刻胶将保护衬底在这些过程中不被改变。