工作台故障。一般容易出现光杆空转、光杆传动有弹跳、磨擦传动时不顺、工作台运动有响声、工作台运动有卡滞现象等。解决故障时，要要找出故障原因，再对症下药。可调整弹簧的螺丝松紧、更换轴承、新上油、加润滑油、更换光杆、调节或更换光杆支架等方式来解决。
投影屏故障。旋转有声响时，可清理端面上的杂质（如锈渍），换新定位轴承等。旋转时磨擦力大，可松开i锁紧螺丝，或换磨擦转。旋转时不均匀时，影像测量仪，可换新度盘座、磨擦轮、磨擦轮轴等。投影屏旋转不计数时，可扭紧角度磨擦机械，焊接好信号线，接好接插等。
基于上述分析，可以归纳出以下几个方面的误差来源:a、光栅计数尺的误差;b、工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;c、工作台两测量轴垂直度带了的误差;d、显微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差;e、测量室温度带来的误差;f、光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。 在这几种因素中，全自动影像测量仪，前四项误差，是硬件误差，在仪器制造过程中已经形成并固定下来，二次元影像测量仪，一般无法改变;温度影响带来的误差，通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。
影像测量仪的结构组成及光学原理特点影像测量仪一般由机械、照明、测长、图像采集、计算机和测量软件等六部分组成。影像测量仪的光学原理与普通投影仪很类似，区别在于影像前者被测件的轮廓影像被CCD传感器接收并由计算机进行图像采集和处理，后者则直接把影像投射到投影观测屏，轮廓对准有操作者的人眼完成，因而导致两者测量精度和自动化程度相差很大。影像测量仪一般具有较大的测量范围，通常配备有(0.7x~4.5x)的变焦物镜，照明光源除了常见的底光和顶光外，还有环形照明光，适合于底光和顶光都不能有效照明时应用。
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