石英铬板 微麦光电有限公司 张家港铬板

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2019-02-28 06:42:41
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公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!

为了避免掩膜版对待蒸镀基板造成损害,通常是在掩膜版上设置一保护膜,该保护膜由有机材料制成,当保护膜与待蒸镀基板接触时,石英铬板,保护膜对待蒸镀基板造成的损害小于掩膜版对待蒸镀基板造成的损害。


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光掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,大面积苏打铬板,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。


掩膜版:通俗点理解,相当于过去用胶片冲洗照片时的底片。底片如果精度不够,是洗不出来高精度照片的。光刻机施工前,要根据设计好的芯片电路图制作掩膜板。掩膜板材质是石英玻璃,张家港铬板,玻璃上有金属铬和感光胶。通过激光在金属铬上绘制电路图。精度要求非常高。

  透镜:用透镜的光学原理,将掩膜版上的电路图按比例缩小,高精石英铬板,再用光源映射的硅片上。光在多次投射中会产生光学误差。要控制这个误差。精度要求很高。

  就是测量台移动的控制器,也是纳米级精度,要求超高。


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