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- 苏州微麦光电有限公司
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- 发布时间
- 2019-03-07 12:54:44
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
光罩(英文:Reticle,杭州铬板, Mask),在制作IC的过程中,利用光蚀刻技术,石英铬板,在半导体上形成图型,为将图型复i制於晶圆上,必须透过光罩作用的原理,类似于冲洗照片时,利用底片将影像复i制至相片上。
掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,普通苏打铬板,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。
在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
图形涨缩 即进行size操作,比如gate处的注入层,从gate size放大而来。完整的光掩膜图形中,除了对应电路的图形外,还包括一些辅助图形或测试图形,常见的有:游标,光刻对准图形,曝光量控制图形,测试键图形,光学对准目标图形,苏打铬板,划片槽图形,和其他名称,版别等LOGO。