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- 苏州微麦光电有限公司
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- 发布时间
- 2019-03-20 12:03:46
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏打铬板,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
由于掩膜版是设计和制造的重要衔接,晶圆制造厂商都有自己的专业工厂来生产自身需要的掩膜版,因此先进的掩膜版技术也是掌握在具有先进晶圆制造制程的晶圆厂手中。但近年来掩膜版外包的趋势非常的明显,特别是对于一些 60nm 及 90nm 以上制程的低端产品。 外包的掩膜版市场份额从2003 年时的 30%上升至 2014 年的 53%。
荷兰的ASML公司垄断了高i端光刻机。但其透镜来自德国的蔡司,自己也做不了。光源是美国的Cymer.所以说它也不是完全技术独立。主要是技术难度太大。
其次是资金上的困难:
光刻机由于技术难度大,研发资金投入巨大,以至于佳能和索i尼都亏损严重,已经停止研发,退出未来技术的竞争。
荷兰的ASML,高精石英铬板,为了筹集i资金,同时也是进行上下游利益捆绑,研发风险共担,邀请英特尔、三星和台积电出资,做自己的大股东。ASML实际上是美、日、韩、德等共同投资的项目,资金充裕。
中国也在此方面有长期投入,但投入水平和不能和多国合作同日而语。中国有相对宽裕的研发资金,也才是近7、8年的事情,而光刻机的研发,10年都显然不够。
掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,大面积苏打铬板,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。
在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,苏州铬板,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。