TB-610真空旋转涂层机匀胶机spincoater

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发布时间
2011-02-15 07:53:00
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TB-610真空旋转涂层机匀胶机spincoater

产品型号:TB-610

产品简介:主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。TB610真空旋转涂层机匀胶机spin coater

主要特点:

*高精度多程序控制器:

可设定存储7个不同样片的旋转涂敷工艺过程。

每个涂敷工艺过程可以设置25步不同的速度状态;

液晶显示屏可以实时显示:

1. 第N个涂敷工艺过程

2. 所处工作段

3. 真空吸片状态。

4. 设置时间;及实时运行时间。

5. 设置速度;及实时速度状态。

TB610真空旋转涂层机匀胶机spin coater

*中英文两套操作系统供选择。

*真空吸片系统更安全:

安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,

必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障不飞片。

*变频调速电机,转速精度更高:

转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %

最高转速10000转/分



技术参数:

单相交流电源:220V.50Hz

电机功率:120W

旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置)

可选择配置: 基片直径10—150mm可接受订货。

转数:转/分。

可设定时间:1---9999秒。

标准包装:尺寸: 260mm宽 x 350mm深 x 260 mm高 ,

可选配件 1、60升/分有油真空泵

2、特殊真空吸盘

3、70升/分无油真空泵

TB610真空旋转涂层机匀胶机spin coater



图右下角显示机器工作在10000rpm实时状态

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