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七、维护和保养

真空泵的维护时间用户根据工作环境而定。每日需维护事项：检查油味及油的颜色。

真空泵油是光亮，瓦里安分子泵修复，清晰的。若油静止沉淀后混浊，且有不能消失的物质或油发黑，必须更换真空泵油。油的寿命取决于工作环境。抽取干净，干燥的气体及温度在100℃的工作环境以下一般每隔500-2000工作小时必须更换油。

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INFICON BPG400 大气压至超高真空真空计

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。

概述规格零件号附件备件好处从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出很好的重复性皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染长使用寿命氧化钇铱丝备有可选的图形显示器和现场总线接口高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预符合 RoHS 标准低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制典型应用对半导体过程和传输腔室的压力测量工业镀膜低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

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