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- 2019-06-18 13:46:12
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),专业制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
溅射靶起辉放电后,当电源的输出脉冲的重复频率足够高时,不锈钢离子氮化炉,由于真空腔体内的导电离子还没有完全被中和完毕,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压与溅射靶的工作电压接近或相同。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百HZ以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上),溅射靶起辉放电后,由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压恢复至较高数值,与点火起辉时的高电压接近或相同。??
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),专业制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,离子氮化炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
经过近20年的发展,低气压低温等离子体已取得了很大进展。但由于其运行需抽真空、设备投资大、操作复杂、不适于工业化连续生产,限制了它的广泛应用。低气压下的辉光放电虽然可以处理这些材料,热处理离子氮化炉,但存在成本、处理效率等问题,目前无法规模化应用于纺织品的表面处理。长期以来人们一直在努力实现大气压下的辉光放电(APGD)。
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),专业制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
将两个面积不相等的电极置于射频(例如13.56MHZ)辉光放电离子体中形成非对称放电,面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压,并能产生溅射。?电容耦合型射频(RF)放电电极自给偏压的形成,可以防止绝缘层表面正电荷的积累,有助于射频放电的维持。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,最1高时可达千伏量级。