罗茨泵在进排气口间设置了一内置溢流阀，其作用是：当进排气口的压差达到一定值时，溢流阀就自动打开，排气口的部分气体通过打开的溢流阀返流到进气口，这就大大降低了高压差下罗茨泵和前级真空泵（以下简称前级泵）的运行负荷。同时因为打开的溢流阀有强大的泄流作用，可以确保罗茨泵和前级泵可以同时启动而不会使罗茨泵和前级泵过载，并可以提高高入口压力下罗茨泵机组的抽速。
二、罗茨真空泵主要用途
罗茨泵被广泛地应用于真空获得的各个方面，它延伸了油封机械真空泵在较低入口压力下的工作范围，具有小体积大抽速的特点，在1~100pa入口压力范围内具有大抽速，特别适合于低入口压力下需要大抽速的真空系统中使用，例如电力变压器、电力电容器、电力互感器的真空干燥、真空浸渍处理、真空热处理、真空冶炼的排气、真空镀膜设备的预抽，大型试验风洞的抽气及照明灯具生产线的排气等等。