ZSX系列光学真空镀膜机

产品说明：



产品名称:ZSX系列光学真空镀膜机



产品描述: 主要用于在玻璃镜片上镀制增透膜、分光膜、带通膜/截止膜、高反膜等各种膜系，能够实现100层膜的超大型膜系镀膜，也能满足在树脂镜片上镀制各种颜色的增透膜，及在玻璃、亚克力、水晶等材质上镀制红、黄、蓝、绿、干邑、七彩等颜色的反光膜、装饰膜。



产品详情说明:

主要特点：

1.配置超大坩埚电子枪，整个蒸发过程中膜料表面平整，蒸发分布均匀；

2.配置石英晶体膜厚控制仪可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制；

3.配置大功率离子源，膜厚质量好；

4.总体结构设计合理，更符合工艺要求，真空系统采用无油系统，可保证整个系统在无油状态下工作；

5.真空操作系统实现互锁保护，断水、断电报警功能。

6.采用触摸屏和PLC自动控制，实现对整机主要部件的参数化设置、实时运行监控及故障智能诊断。



主要配置：

1.真空室采用立式前开门箱形结构，全不锈钢箱体，内腔尺寸Φ800mm～Φ1400mm；

2.真空系统采用分子泵，前级泵采用无油真空泵；

3.采用一套水汽低温捕集器作为真空辅助抽气；

4.工件架：行星轮或整体工件盘，可根据客户要求定制；

5.镀膜系统：配1～3套大功率e型磁偏转2700电子枪及多穴位坩埚，辅助镀膜系统配霍尔离子源。

6.烘烤：数显自动控温，温度控制精度±1.5℃

7.膜厚控制：石英晶体膜厚监控系统，可控制电子枪蒸发速率，精确控制膜层厚度，手动和自动控制实现方便切换；光学膜厚监控系统，透射或反射光路，监控波长范围200-900nm。

8.控制系统：真空控制采用工控机及可编程序控制器控制。



技术**能参数：

1.极限真空：≤5×10-4Pa

2.二次恢复时间：从1×105Pa至2×10-3Pa