无尘室风管的制作
风管支架:
1.风管水平安装，边长尺寸小于等于400mm，间距不应大于4m；大于400mm，不应大于3m;对于薄钢板法兰的风管，其支、吊架间距不应大于3m。
2.风管垂直安装，间距不应大于4m，单根直管至少应有2个固定点。3
.支、吊架不宜设置在风口、阀门、检查门及自控机构处，离风口或插接管的距离不宜小于200mm。
4.当水平悬吊的主、干风管长度超过20m时，应设置防止摆动固定点，每个系统不应少于1个。
5.防火阀直径或长边尺寸大于等于630mm时，宜设独立支、吊架。
6.带高1效过滤器的送风口，应采用可分别调节高度的吊杆。
洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，车间净化工程哪家好，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，药厂车间净化工程，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最i佳湿度范围为35—45%。
无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，首1选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。然而对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：
1.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
2.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
3.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
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