主要特点：
二次元表面解析，可测量段差
高精度、高分辨率和良好的再现性
FPD面板显示，可测定微细表面形状、段差、粗度等
低测定力，可测定软质材料
技术参数：
型号 ET200
最大样品尺寸 φ160x48mm
样品台 尺寸 φ160
倾斜度 ±2°（X,Y手动）
承重 2Kg
检出器 触针力 10μN-500μN（1mg-50mg）
范围 600μm（0.1nm分辨率）
驱动 直动式（差动变压器）
触针 R2μm 顶角60°
X轴 最大测长 100mm
直线度 0.02μm/100mm
速度 0.005-20mm/s
重复性 ±5μm（定位）
Y轴 最大测长 25mm/手动
Z轴 最大测长 50mm
放大倍数 垂直 50-2000000
水平 1-10000
监控系统 摄像装置 1/3 inch CCD
监视装置 视频捕捉板
移动方法 手动
辅助功能 教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
应用 成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
重复性 1σ1nm
电源 AC90-240V 50/60Hz 300VA
外观尺寸 W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震台）