蚀刻清洗台

机台特点：1.蚀刻工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性

2.QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定

3.集成自动烘干系统

4.管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品，配置模组化，维护保修便利，非期货库存品工厂内均建立安全存量

5.全自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小，运动平稳，机械臂定位精度高

6.多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储

7.作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人声安全

8.客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要

制程应用：显影制程，蚀刻（微蚀刻）制程，去光阻清洗制程，去蜡（胶）清洗制程，精密清洗制程，光罩去光阻清洗制程

机械臂装置：Robo的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）

机械手传送定位精度 ≦ 0.3mm
机械臂走向前后位移一对一

转向、前后、左右、上下位移一对四

全程转向左右、前后、上下位移一对多槽等