单腔立式甩干机

优点  清洗系统应用于各种清洗和干燥工艺。
       不同配置（可放置台面操作的设备、单台独立、双腔）；
                  适用于晶圆尺寸至200mm；
                  最佳的占地，设备带有滚轮可移动；
                  优越的可靠性；
                  独特的模块化结构；
                  极其便于维修；
                  易于使用和操作
一般特征：适用于晶圆直径至200mm；
                 25片晶圆单盒工艺；
                 标准的高边和低边花篮；
                 可选内置电阻率检测传感器来控制晶圆的清洗工艺；
                 用冷或热的N2辅助晶圆干燥；
                 离心头容易更换
去静电装置安装于工艺腔室区：去离子水回收；
                                               去阻率检测装置；
                                               机械手自动加载；
                                               可放置台面操作的设备、单台独立、双腔；去离子水加热系统；
                   底座置放不锈钢滚轮；
                   溶剂灭火装置；
                   适用特殊设计的花篮