在德国,Jena地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔JENAer公司生产的ZLM700/800双频激光干涉仪在同类产品中,由于具有独特的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理,德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪,是世界上唯一一家将顶级的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪,不仅能够精确的测量数控机床的几何量,如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等,通过配合使用球杆仪,还能够测量数控机床的回转量。
ZLM系列双频激光干涉仪采用模块化设计和可调型ASIC元件,用户可以根据测量目的的不同,选择不同的反射镜和辅助元件,以完成各种测量和控制任务。
ZLM700双频激光干涉仪主要用于单轴系统的校准和测量,ZLM800干涉仪可从单轴拓展为多轴,广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。它能够完全计算出机械设备的运行轨迹,并通过WINDOWS™软件按用户设定的方法对其进行分析。
配用高性能蔡司光学镜头,ZLM70/800双频激光干涉仪可以完成以下各种测量工作:
位置测量、机械定位
位移测量
速度测量
加速度测量
角度测量(俯仰角、偏摆角、滚动角)
振动度测量
直线度测量
矩形测量(垂直度测量、平行度测量)
平面度测量
同心度测量
对工具和仪器进行校正
工作原理
专利型ZLM700/800激光干涉仪使用氦氖激光器,采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为0.002ppm,640MHz的频差经四倍后用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量,不会出现干扰误差,信号延时时间极短。
采用光纤电缆,把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上,避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此,ZLM700/800双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。
除了计算机卡槽接口外,还可以使用其他独立的电子装置进行数据处理,包括各种接口,用于数据输出和连接成为一个控制环路。ZLM800型干涉仪可以拓展为六轴测量。
性能要点 被测物体最大速度16m/s;
无干扰误差时的分辨率2.5nm(使用平面干涉镜时的误差为1.25nm);
无加速度限制;
当光线微弱时,性能也十分稳定;
信号延时