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- 发布时间
- 2020-02-10 22:55:05
有机热蒸发镀膜机介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——专业生产、销售电阻热蒸发镀膜产品，我们公司坚持用户为上帝，想用户之所想，急用户之所急，以诚为本，讲求信誉，以产品求发展，以质量求生存，我们热诚地欢迎各位同仁合作共创辉煌。
真空：极限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢复工作真空时间：连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱，充干燥氮气≤30分钟
本套设备配有8个有机源及2个金属源
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选
金属蒸发源配有1000w电源
有机蒸发源配有可控温电源，控温精度±1℃
有机热蒸发镀膜机介绍
技术指标：
1. 真空室的极限真空度达5*10-5pa，漏率为关机12小时≤5pa
2. 真空腔内配有集约样品台一套，配有大挡板和16套小挡板，成都钙钛矿镀膜设备，手动
控制，开关方便快捷，重庆钙钛矿镀膜设备，每个小挡板挡两块30*30mm样片
3. 蒸发源共14套，其中10套有机蒸发源，4套金属蒸发源。控温
精度±1℃，可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能
4. 金属蒸发源配4台一带一1000W可控硅调压电源，通过铜电极
连接，钙钛矿镀膜设备，两端可夹钨绞丝或者钽舟，钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒
材料，钽舟可以蒸镀粉末状材料，蒸发源采用陶瓷全密封，避免交
叉污染
5. 有机蒸发源配10台一带一温控电源，有机源温度为室温-500度，天津钙钛矿镀膜设备，
可以根据材料及用户需求自行调节
6. 样品台具有旋转、升降功能，可在线更换掩膜板一次，可同时装
载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板，
并且通过PLC控制步进电机对每个小挡板做16个定位，使机械手
推拉小挡板，样品与蒸发源之间的间距为200-300mm
以上内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助！
300D三源有机蒸发镀膜机
主要用途：
特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。
系统组成:
主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、电控系统组成。
技术指标：
极限真空度6.7×10-5Pa，系统漏率：1×10-7PaL/S； 恢复真空时间：40分钟可达6.6×10 Pa（短时间暴露 大气并充干燥氮气后开始抽气）
样品台：尺寸为4英寸平面样品；
蒸发源：3套
4套挡板系统：挡板共有3套，动密封手动控制；
气路系统:质量流量控制器1路
石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
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